X 轴 (驱动部)
测量范围: 17.5, 5.6mm (横向驱动部型)
测量速度: 0.25, 0.5, 0.75mm/s 1mm/s (返回)
检出器
范围: 360μm (-200μm - +160μm)
检测方法: 有轨测量
测力: 0.75mN 或 4mN: 参见 L-5
测针针尖: 金刚石, 90o / 5μmR
(60o / 2μmR: 参见 L-5)
导头曲率半径: 40mm
导头压力: 小于 400mN
类型: 差动电感式
电源: 通过AC 适配器／可充电镍氢电池
充电时间: 大约4 小时 (取决于环境温度)
耐用性: 大约1000 次测量(根据使用条件/
环境不同会有微小的出入)
外部 I/O: USB I/F, 数显输出, 打印机输出,
RS-232C I/F, 脚踏开关 I/F
数据存储: 记忆卡(选件12AAL069)
尺寸 (WxDxH)
控制器: 52.1 x 65.8 x 160mm
驱动部: 115 x 23 x 26mm
重量: 大约 0.5kg (控制器+ 驱动部+ 标
准检出器)