X1 轴
测量范围: 100mm 或 200mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 线性编码器
驱动速度: 0 - 80mm/s 外加手动
测量速度: 0.02 - 5mm/s
测量方向: 向前／向后
直线度: 0.8μm / 100mm, 2μm / 200mm
* 以X1 轴为水平方向上
指示精度:
(20oC 时) ±(0.8+0.01L)μm (CV-3200S4, H4, W4)
±(0.8+0.02L)μm (CV-3200S8, H8, W8)
* L 为驱动长度 (mm)
倾斜范围: ±45o
Z2 轴 (立柱)
垂直移动: 300mm 或 500mm
分辨率: 1μm
检测方法: ABSOLUTE 线性编码器
驱动速度: 0 - 30mm/s 外加手动
Z1 轴 (检出器)
测量范围: ±30mm
分辨率: 0.04μm
检测方法: 线性编码器
指示精度(20oC 时): ±(1.6+I2HI/100)μm
*H 为水平位置上的测量高度 (mm)
测针上／下运作: 弧形运动
测针方向: 向上／向下
测力: 30mN
跟踪角度: 向上: 77o, 向下: 83o
(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)