（一）、可与电脑连接
软件控制系统：该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出。（选购）
密封系统：该炉法兰采用双重硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。
真空系统：分子泵机组。
炉膛材料：采用氧化铝纤维炉膛材料，不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强。
加热元件：采用Dia14mm直径硅碳棒、硅碳棒直径粗、表面负荷低，使用使用长。
漏电保护功能：该炉装了漏电空气开关，当炉体漏电时自动断电，以确保使用的安全性。
供气系统：该炉配有浮子流量计，客户可通过浮子流量计或质子流量计控制气体的流速（详细请查看选件）。
法兰：采用双环密封技术，有效的提高了法兰的气氛性，法兰上装有多种接头，可接电阻真空计、KF25波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。
相数:单相
加热元件:硅碳棒
真空炉管内真空度 : 8X10 -4
控制方式:2台仪表各自控制 采用宇电程序控温仪表
(1)、30段程序控温只能PID调节。
(2)、具有过温保护断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1420度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。
(3)、带有485通讯接口（选购软件时标配）
(4)、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。
(5)、仪表具有温度自整定的功能
FP93控温仪表（日本岛电）（更换进口仪表，需要另外付费）
(1)、40段程序控温可以分成4、2、1组程序，如果分成4组程序，每条程序为10段，
(2)、6组PID控制，低，中，高温可以各用一组PID，这样每个温度段都能够控制得很准确。
(3)、具有过温保护断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1420度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。
(4)、仪表有华氏度（F）和摄氏度（C）可供选择
(5)、带有485通讯接口（选购软件时标配）
(6)、具有自动停机功能
(7)、可以储存多组程序，使用时可以任意调出。
(8)、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。
(9)、仪表上有输出功率、程序执行的段数和执行时间、程序处于升温、恒温、降温状态的显示。
(10)、仪表具有跳步功能（即仪表可以跳个这一步直接执行下一步。
(11)、仪表具有温度自整定的功能。
控温模式:智能PID
断偶保护和显示:有
过温保护:有
过流保护:有
（二）、炉膛材料
炉膛材料：采用氧化铝纤维炉膛材料，不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强。
加热元件：采用Dia14mm直径硅碳棒、硅碳棒直径粗、表面负荷低，使用使用长。
漏电保护功能：该炉装了漏电空气开关，当炉体漏电时自动断电，以确保使用的安全性。
供气系统：该炉配有浮子流量计，客户可通过浮子流量计或质子流量计控制气体的流速（详细请查看选件）。
法兰：采用双环密封技术，有效的提高了法兰的气氛性，法兰上装有多种接头，可接电阻真空计、KF25波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。
相数:单相
加热元件:硅碳棒
真空炉管内真空度 : 8X10 -4
控制方式:2台仪表各自控制 采用宇电程序控温仪表
(1)、30段程序控温只能PID调节。
(2)、具有过温保护断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1420度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。
(3)、带有485通讯接口（选购软件时标配）
(4)、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。
(5)、仪表具有温度自整定的功能
FP93控温仪表（日本岛电）（更换进口仪表，需要另外付费）
(1)、40段程序控温可以分成4、2、1组程序，如果分成4组程序，每条程序为10段，
(2)、6组PID控制，低，中，高温可以各用一组PID，这样每个温度段都能够控制得很准确。
(3)、具有过温保护断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1420度或热电偶烧断时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。
(4)、仪表有华氏度（F）和摄氏度（C）可供选择
(5)、带有485通讯接口（选购软件时标配）
(6)、具有自动停机功能
(7)、可以储存多组程序，使用时可以任意调出。
(8)、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。
(9)、仪表上有输出功率、程序执行的段数和执行时间、程序处于升温、恒温、降温状态的显示。
(10)、仪表具有跳步功能（即仪表可以跳个这一步直接执行下一步。
(11)、仪表具有温度自整定的功能。
控温模式:智能PID
断偶保护和显示:有
过温保护:有
过流保护:有
（二）、炉膛材料
COM变USB接口 电脑与炉子连接的数据线
控制精度：+/- 1℃
触发器：移相触发
电器：浙江正泰
可控硅：106 / 16E德国西门康
最高温度：1400℃
额定温度：1350℃
升温速率：≤10℃/分钟（可根据要求修改）
热电偶型号：S型
加热段长度： 300毫米
日本岛电FP93仪表与电脑连接控制和记录软件（选购）
（三）、真空法兰： 
（四）、电器认证
KTL1400 高真空管式炉单温区CVD系统详细技术参数:
分子泵机组
机组输入电压:380V / 220V 波纹管:KF40x1000 真空挡板阀:KF40 机箱尺寸:600x600x600
分子泵（方案一）
分子泵型号：FJ620 输入电压： 380V 分子泵进气口法兰： DN160 分子泵抽气速率L / S（对空气）： 600
分子泵极限压强（PA）：6×10 -7 冷却方式： 水冷 冷却水压（兆帕）： 0.1-0.2 冷却水温度：<25℃
环境温度：0〜40℃ 建议启东压强：<100Pa时
前机真空泵RVP-6（方案一）
功率：0.75KW 电压：380V 转速：1450rpm 进气口径： KF25 / KF40 前机泵抽气速率（L / S）：6
极限压强：4X10 -2帕
德国普发真空泵（方案二）
电压：220V 功率：110W 极限真空度（在无泄露时）：<1E-8毫巴 抽气接口：KF40
重量：150KG 前机泵抽速：0.9米 3 / H 抽气速率（N 2）：33L / S
复合真空计
复合真空计型号：ZDF 电源：220V 55W 控制精度：±1％ 真空计测量范围：10 -5 -10 5 霸
四周表面温度：≤45℃
分子泵（方案一）
分子泵型号：FJ620 输入电压： 380V 分子泵进气口法兰： DN160 分子泵抽气速率L / S（对空气）： 600
分子泵极限压强（PA）：6×10 -7 冷却方式： 水冷 冷却水压（兆帕）： 0.1-0.2 冷却水温度：<25℃
环境温度：0〜40℃ 建议启东压强：<100Pa时
前机真空泵RVP-6（方案一）
功率：0.75KW 电压：380V 转速：1450rpm 进气口径： KF25 / KF40 前机泵抽气速率（L / S）：6
极限压强：4X10 -2帕
德国普发真空泵（方案二）
电压：220V 功率：110W 极限真空度（在无泄露时）：<1E-8毫巴 抽气接口：KF40
重量：150KG 前机泵抽速：0.9米 3 / H 抽气速率（N 2）：33L / S
复合真空计
复合真空计型号：ZDF 电源：220V 55W 控制精度：±1％ 真空计测量范围：10 -5 -10 5 霸
四周表面温度：≤45℃
